摘要: 用热阴极离子镀制成TIN膜，膜厚约3卜m。用xPs和xRD分析膜的价态和结构表 明:膜表层Tio:含星较高，TIN含星较低.膜内主要由TIN相构成，有较强择优取向。 膜与衬底结合力强，其临界载荷达35N。节N膜具有较高的显微硬度、较低的摩擦系数 和很好的抗磨性能.在球一盘式摩擦磨损试验机_卜，采用阶梯加载方式，测定了润滑 条件卜Gcrls钢/TIN膜滑动摩擦副的临界载荷一速度(P-。)图，分析了其摩擦状态转 化特性及机理。试验发现，尸一叮封卜的边界润滑区域显著地扩大.TIN膜在边界润滑区 域可承受较大载荷.这对实际应用是很有利的。