• ISSN 0258-2724
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双离子束溅射淀积DLC 膜的结构分析

刘贵昂

刘贵昂. 双离子束溅射淀积DLC 膜的结构分析[J]. 西南交通大学学报, 1997, 10(1): 6-10.
引用本文: 刘贵昂. 双离子束溅射淀积DLC 膜的结构分析[J]. 西南交通大学学报, 1997, 10(1): 6-10.

双离子束溅射淀积DLC 膜的结构分析

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  • 刊出日期:  1997-02-25

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