双离子束溅射淀积DLC 膜的结构分析
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摘要: 用双离子束溅射法在50℃以下的基底上淀积了类金刚石(DLC) 膜。对DLC 膜采用扫 描电子显微镜、透射电子显微镜及拉曼谱仪进行了结构分析。通过对扫描电子显微镜 观察, 发现在DLC 膜中存在金刚石微晶。通过透射电子显微镜分析, 确定金刚石微晶 具有面心立方结构, 计算出的晶格常数与标准值基本相同。通过拉曼光谱分析后, 进一 步验证了薄膜中金刚石微晶的存在并得出了膜中SP3C- C 键所占的比例。
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