双离子束溅射淀积DLC 膜的结构分析

双离子束溅射淀积DLC 膜的结构分析

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陈彦如, 蒲云. 用遗传算法解决固定需求交通平衡分配问题[J]. 西南交通大学学报, 2000, 13(1): 44-47.

引用本文:

刘贵昂. 双离子束溅射淀积DLC 膜的结构分析[J]. 西南交通大学学报, 1997, 10(1): 6-10.

陈彦如, 蒲云. 用遗传算法解决固定需求交通平衡分配问题[J]. 西南交通大学学报, 2000, 13(1): 44-47.

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刘贵昂. 双离子束溅射淀积DLC 膜的结构分析[J]. 西南交通大学学报, 1997, 10(1): 6-10.

双离子束溅射淀积DLC 膜的结构分析

刘贵昂

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出版历程
- 刊出日期: 1997-02-25

摘要: 用双离子束溅射法在50℃以下的基底上淀积了类金刚石(DLC) 膜。对DLC 膜采用扫描电子显微镜、透射电子显微镜及拉曼谱仪进行了结构分析。通过对扫描电子显微镜观察, 发现在DLC 膜中存在金刚石微晶。通过透射电子显微镜分析, 确定金刚石微晶具有面心立方结构, 计算出的晶格常数与标准值基本相同。通过拉曼光谱分析后, 进一步验证了薄膜中金刚石微晶的存在并得出了膜中SP3C- C 键所占的比例。
- 双离子束溅射淀积 /
- DLC 膜 /
- 结构分析

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