• ISSN 0258-2724
  • CN 51-1277/U
  • EI Compendex
  • Scopus 收录
  • 全国中文核心期刊
  • 中国科技论文统计源期刊
  • 中国科学引文数据库来源期刊

双离子束溅射淀积DLC 膜的结构分析

刘贵昂

刘贵昂. 双离子束溅射淀积DLC 膜的结构分析[J]. 西南交通大学学报, 1997, 10(1): 6-10.
引用本文: 刘贵昂. 双离子束溅射淀积DLC 膜的结构分析[J]. 西南交通大学学报, 1997, 10(1): 6-10.

双离子束溅射淀积DLC 膜的结构分析

计量
  • 文章访问数:  903
  • HTML全文浏览量:  62
  • PDF下载量:  94
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 刊出日期:  1997-02-25

目录

    /

    返回文章
    返回